图书介绍
MEMS矢量水听器及其应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 张国军著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030528674
- 出版时间：2017
- 标注页数：140页
- 文件大小：17MB
- 文件页数：147页
- 主题词：矢量－水听器－研究
PDF下载
下载说明
MEMS矢量水听器及其应用PDF格式电子书版下载
下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！
（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）
注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具
图书目录
第1章 概述1
1.1声学常见名词和物理量3
1.2矢量水听器国内外研究进展及应用现状8
1.3 MEMS技术应用于矢量水听器17
第2章 MEMS矢量水听器微结构设计及仿真18
2.1纤毛式MEMS矢量水听器仿生微结构工作原理19
2.2纤毛式MEMS矢量水听器十字梁微结构力学建模21
2.2.1 MEMS矢量水听器微结构的力学特性分析22
2.2.2 MEM S矢量水听器微结构的频率特性分析26
2.3微结构应力集中方案设计28
2.3.1多重应力集中方法及其应用于十字梁微结构29
2.3.2应力集中区域选择及尺寸设计33
2.3.3 MSCR对十字梁微结构性能的提高35
2.4纤毛集成低密度小球技术44
第3章 纤毛式MEMS矢量水听器微结构加工集成46
3.1部分关键工艺设计47
3.1.1多重应力集中区凹槽刻蚀47
3.1.2压敏电阻条设计48
3.1.3欧姆接触及金属互连线设计51
3.1.4体硅刻蚀工艺设计52
3.2十字梁微结构MEMS加工工艺流程设计53
3.3十字梁微结构光刻掩膜版图设计58
3.4纤毛式MEMS矢量水听器芯片一致性测试61
3.4.1纤毛式MEMS矢量水听器芯片形貌测试61
3.4.2纤毛式MEMS矢量水听器压敏电阻一致性测试64
3.5纤毛与十字梁微结构集成65
第4章 纤毛式MEMS矢量水听器芯片封装集成67
4.1纤毛式MEMS矢量水听器芯片封装模型的提出67
4.2有限元仿真透声帽的声学性能68
4.2.1固定约束对透声帽透声性能影响的仿真68
4.2.2不同几何尺寸的透声帽透声性能仿真73
4.2.3桔瓣式封装结构提出及有限元建模仿真74
4.2.4不同材质的透声帽透声性能仿真78
4.3微型导流罩设计79
4.4低噪声信号提取电路设计81
4.5纤毛式MEMS矢量水听器组装集成84
4.5.1纤毛式MEMS矢量水听器芯片隔振支座研制85
4.5.2纤毛式MEMS矢量水听器封装集成流程87
第5章 纤毛式MEMS矢量水听器室内性能测试89
5.1灵敏度测试89
5.1.1纤毛式MEMS矢量水听器裸芯片灵敏度测试91
5.1.2纤毛式MEMS矢量水听器透声帽封装后灵敏度测试94
5.2指向性测试95
5.3纤毛式MEMS矢量水听器量程测量98
5.4纤毛式MEMS矢量水听器抗振动性能测试100
第6章 纤毛式MEMS矢量水听器湖、海试性能测试102
6.1微型导流罩流激噪声抑制能力测试102
6.1.1不同材料的微型导流罩对纤毛式MEMS矢量水听器性能的影响102
6.1.2典型使用环境下微型导流罩抑制流激噪声能力测试104
6.2纤毛式MEMS矢量水听器新安江湖试109
6.2.1灵敏度测试111
6.2.2指向性测试113
6.3纤毛式MEMS矢量水听器海试114
第7章 MEMS矢量水听器及其纤毛仿生微结构工程应用初步118
7.1 MEMS矢量水听器在水雷兵器上的应用118
7.2 MEMS矢量水听器在海底观测网上的初步应用119
7.3纤毛式MEMS仿生微结构应用于水下湍流检测122
7.4电子心音器130
参考文献134