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新型传感技术及应用
  • 樊尚春,刘广玉编著 著
  • 出版社: 北京:中国电力出版社
  • ISBN:7508334159
  • 出版时间:2005
  • 标注页数:331页
  • 文件大小:17MB
  • 文件页数:338页
  • 主题词:传感器-高等学校-教材

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图书目录

前言1

1 传感器与敏感材料1

1.1 概述1

1.2 硅材料1

目录1

1.3 化合物半导体材料6

1.4 压电材料7

1.5 磁致伸缩材料13

1.6 形状记忆合金14

1.7 熔凝石英15

1.9 弹性合金16

1.8 光导纤维16

1.10 纳米材料17

思考题与习题18

2 传感器的制造和封装技术19

2.1 概述19

2.2 硅微加工技术19

2.3 LIGA技术和SLIGA技术37

2.4 特种精密加工技术39

2.5 封装技术39

思考题与习题50

3.1 概述52

3 传感器建模的力学基础52

3.2 弹性体的应力53

3.3 弹性体的应变59

3.4 弹性体的物理方程83

3.5 弹性体的能量方程85

思考题与习题90

4 传感器的建模91

4.1 弹性圆柱体(杆)的建模91

4.2 梁的建模100

4.3 圆平膜片的建模106

4.4 矩形(方形)平膜片的建模125

4.5 波纹膜片的建模139

4.6 E形圆膜片的建模143

4.7 带有顶盖的圆柱壳的建模150

4.8 顶端开口圆柱壳的建模157

4.9 半球壳的建模161

思考题与习题174

5 传感器技术的智能化176

5.1 发展背景与功能176

5.2 智能化传感器的实现177

5.3 典型应用181

5.4 发展前景184

思考题与习题185

6.1 概述186

6 硅电容式集成传感器186

6.2 硅电容式集成压力传感器187

6.3 硅电容式集成压力传感器的接口电路191

6.4 硅电容式加速度传感器197

6.5 硅电容式角速度传感器199

思考题与习题200

7 谐振式传感器202

7.1 概述202

7.2 谐振式传感器的基础理论203

7.3 谐振弦式压力传感器209

7.4 谐振膜式压力传感器210

7.5 谐振筒压力传感器211

7.6 谐振式角速率传感器219

7.7 谐振式直接质量流量传感器228

7.8 硅微结构谐振式传感器235

思考题与习题241

8 声表面波传感器243

8.1 概述243

8.2 表面波的基本理论244

8.3 声表面波叉指换能器249

8.4 声表面波谐振器253

8.5 SAW加速度传感器255

8.6 SAW压力传感器257

8.7 SAW气体传感器260

8.8 SAW流量传感器263

思考题与习题265

9 薄膜传感器266

9.1 概述266

9.2 几种薄膜传感器267

思考题与习题279

10 光电传感器280

10.1 概述280

10.2 基本原理281

10.3 光电传感器的一些性能参数285

10.4 光导型传感器290

10.5 光电型传感器292

10.6 CCD成像传感器293

10.7 红外焦平面成像传感器303

10.8 光纤传感器306

思考题与习题314

11 磁传感器315

11.1 概述315

11.2 磁传感器的工作原理315

11.3 霍尔元件与霍尔传感器320

11.4 磁阻元件和传感器326

11.5 硅谐振式磁传感器简介328

思考题与习题330

参考文献331

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