图书介绍
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- （日）菅井秀郎编著；张海波，张丹译 著
- 出版社： 北京：科学出版社；OHM社
- ISBN：7030099869
- 出版时间：2002
- 标注页数：159页
- 文件大小：12MB
- 文件页数：170页
- 主题词：等离子体(学科: 电子学 学科: 高等学校) 等离子体 电子学
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图书目录
1 等离子体电子学的学习方法2
1.1 等离子体概述2
目录2
篇外话4
“等离子体”名称的由来4
1.2 等离子体的各种性质4
1.3 等离子体的应用6
1.4 本书的构成9
练习题10
2 等离子体中的微观运动12
2.1 单个粒子的运动12
2.2 粒子间的碰撞19
2.3 弹性碰撞中的能量损失24
2.4 原子的激发与电离25
原子的内部状态和光谱标记27
2.5 分子的激发与离解、电离31
练习题37
3 等离子体的宏观性质40
3.1 分布函数与平均量40
3.2 等离子体基本方程43
3.3 等离子体的电中性45
3.4 粒子流动与密度分布49
3.5 等离子体鞘层56
朗缪尔探针59
3.6 能量平衡与粒子数平衡61
练习题65
4 气体放电与等离子体的形成68
4.1 气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论68
4.2 放电起始电压——帕邢定律73
4.3 气体放电中的等离子体状态75
4.4 汤生理论的局限性76
流注的形成79
练习题82
5 等离子体的生成方法Ⅰ——直流放电84
5.1 各种放电方法与放电模式84
表面磁场对等离子体的约束作用87
5.2 辉光放电与低温等离子体88
5.3 电弧放电与热等离子体94
5.4 电晕放电与高气压低温等离子体100
5.5 磁控管放电102
练习题103
——高频放电、微波放电106
6.1 等离子体生成与天线耦合106
6 等离子体的生成方法Ⅱ106
6.2 平行板加RF电压——电容耦合等离子体108
6.3 线圈通RF电流——感应耦合等离子体119
6.4 等离子体中的波122
6.5 强电波照射——表面波等离子体126
6.6 使用磁场中的波——ECR等离子体和螺旋波等离子体128
练习题131
朗道衰减与回旋衰减131
7 等离子体在电子、环境工程中的应用134
7.1 LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法134
7.2 非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法140
7.3 等离子体显示器件的工作原理143
7.4 利用等离子体的环境改善技术145
练习题149
用强光生成等离子体149
练习题解答151
参考文献155
附录157