图书介绍
光学零件特种加工工艺学 下PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 机械工业部仪器仪表工业局统编 著
- 出版社： 北京：机械工业出版社
- ISBN：7111007204
- 出版时间：1993
- 标注页数：390页
- 文件大小：11MB
- 文件页数：401页
- 主题词：光学零件-特种加工(学科: 工艺学) 特种加工-光学零件(学科: 工艺学)
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图书目录
前言1
第一篇 镀膜1
第一章 薄膜制备技术1
1-1 真空镀膜设备1
一、镀膜机1
二、真空泵3
1-2 薄膜淀积技术10
一、电子束蒸发11
二、反应蒸发17
三、真空溅射22
四、离子镀膜27
1-3 膜厚监控28
一、波长扫描法28
二、石英晶体振荡法32
复习题35
第二章 膜系及其镀制工艺36
2-1 膜系知识36
一、减反射膜37
2-2 常见典型膜系及其镀制工艺37
二、高反射膜44
三、分光膜51
四、滤光膜59
2-3 镀膜零件光学特性的测量71
一、光谱特性的测量71
二、折射率和几何厚度的测量77
2-4 常用的薄膜材料79
一、常用的金属薄膜材料79
二、常用的介质和半导体薄膜材料80
复习题86
第三章 化学镀膜87
3-1 减反射膜的镀制工艺87
一、概述87
二、镀制工艺88
3-2 透明导电膜的镀制工艺91
一、二氧化锡透明导电膜的形成原理和性能91
二、透明导电膜的镀制工艺92
四、透明导电膜的退修97
3-3 化学镀膜材料97
三、透明导电膜常见疵病及克服方法97
复习题99
第二篇 刻划101
第四章 刻划设备101
4-1 刻划机的安装条件101
一、温度101
二、安装基础104
三、防尘106
一、圆刻划机的安装和调试107
四、照明107
4-2 刻划机的安装和调试107
二、圆刻划机的精度测定114
三、长刻划机的安装和调试115
四、长刻划机的精度测定116
五、机床的维护保养与润滑116
4-3 光电跟踪118
一、光电显微镜118
二、光电跟踪122
一、光刻原理133
4-4 光刻设备133
二、长光栅定位闭环数控装置134
三、激光定位光刻机139
复习题141
第五章 刻划工艺142
5-1 刻划精度142
一、机床传动链的误差142
二、机床轴系的误差143
三、丝杆、螺母的分度误差148
四、摩擦力对机床工作精度的影响148
五、空回对刻划精度的影响149
六、零件坯料及装夹对刻划精度的影响150
七、环境对刻划精度的影响151
5-2 刻划夹具设计154
一、对夹具的基本要求154
二、六点定位原则156
三、定位方法158
四、工件的夹紧159
五、夹具设计159
复习题162
6-1 照相机163
一、制版照相机163
第六章 照相设备163
第三篇 照相163
二、制版镜头165
6-2 数字式刻度模版机176
一、主机178
二、电气系统182
三、模版机的使用182
6-3 光源186
一、概述186
二、各种光源的性能、特点及应用190
复习题194
第七章 照相工艺195
7-1 底版放大图的制做195
一、底图的绘制195
二、漆膜底图的刻制198
7-2 底版的初缩202
一、调整成像尺寸202
二、调整光源203
三、校正放大底图和照相机的位置206
四、调整焦距207
五、选择光圈与曝光时间208
7-3 底版的精缩208
7-4 超微粒干版212
一、概述212
二、合成方法213
三、配方214
四、乳剂制备216
五、干版涂布222
六、照相加工226
七、工艺分析230
八、商品超微粒干版233
九、超微粒干版的主要技术指标234
复习题237
第八章 精密分划测量238
8-1 长刻尺测量238
一、概述238
二、激光比长仪239
8-2 圆度盘测量250
一、度盘误差的概念250
二、圆度盘的检定255
三、度盘的测量259
复习题265
第四篇 光栅266
第九章 计量光栅的制造266
9-1 长光栅的投影光刻制造法266
一、概述266
二、投影光刻设备的原理266
三、光刻胶工艺268
9-2 圆光栅的制造273
一、机械刻划法273
二、光刻法287
9-3 计量光栅的复制292
一、长光栅的复制292
二、圆光栅的复制305
复习题313
第十章 物理光栅的制造315
10-1 物理光栅的基本知识315
一、光栅常数315
二、光栅方程式316
三、光栅的分光原理317
四、光栅级次及自由光谱范围318
五、光栅的能量分布320
六、反射光栅的闪耀及闪耀波长323
七、衍射光栅的角色散325
八、光栅的分辨本领327
九、鬼线328
十、伴线330
十一、杂散光330
十二、不规则能量分布331
10-2 物理光栅的刻划工艺333
一、刻划机334
二、刻刀356
三、坯料与镀膜367
四、工艺流程与实例370
五、质量初步分析375
10-3 物理光栅的复制379
一、“一次法”平面光栅复制379
二、“一次法”凹面光栅复制386
三、“二次法”平面光栅复制386
四、“二次法”与“一次法”平面光栅复制的比较387
五、“一次法”光栅复制工艺实例388
复习题389