图书介绍

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微纳米加工技术及其应用
  • 崔铮著 著
  • 出版社： 北京：高等教育出版社
  • ISBN：7040168804
  • 出版时间：2005
  • 标注页数：295页
  • 文件大小：32MB
  • 文件页数：307页
  • 主题词：纳米材料－加工工艺；纳米材料－应用

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图书目录

第1章 绪论1

1.1微纳米技术与微纳米加工技术2

1.2微纳米加工技术的分类3

1.3本书的内容与结构7

参考文献10

第2章 光学曝光技术11

2.1光学曝光方式与原理13

2.2光学曝光的工艺过程21

2.3光刻胶的特性23

2.3.1光刻胶的一般特性24

2.3.2正型胶与负型胶的比较27

2.3.3化学放大胶29

2.3.4特殊光刻胶29

2.4光学掩模版的设计与制作30

2.5.1离轴照明技术34

2.5突破光学曝光分辨率的新技术34

2.5.2空间滤波技术35

2.5.3移相掩模技术36

2.5.4光学邻近效应校正40

2.6光学曝光技术的极限43

2.7厚胶曝光技术44

2.7.1传统光刻胶45

2.7.2 SU-8光刻胶47

2.8灰度曝光技术51

2.9光学曝光的计算机模拟技术55

2.9.1部分相干光成像理论55

2.9.2计算机模拟软件COMPARE59

2.9.3光学曝光质量的比较63

参考文献68

第3章 电子束曝光技术73

3.1电子光学原理75

3.2电子束曝光系统80

3.2.1矢量扫描与光栅扫描曝光83

3.2.2变形束曝光89

3.2.3投影曝光89

3.2.4微光柱系统曝光91

3.3电子束曝光图形的设计与数据格式93

3.3.1设计中的注意事项93

3.3.2中间数据格式95

3.3.3AutoCAD数据格式97

3.3.4机器数据格式97

3.4电子束抗蚀剂及其工艺100

3.4.1高分辨率电子抗蚀剂100

3.4.2化学放大抗蚀剂103

3.4.3多层抗蚀剂工艺108

3.5电子束散射与邻近效应110

3.5.1电子束在固体材料中的散射110

3.5.2电子束曝光的邻近效应115

3.5.3点扩散能量分布的近似116

3.6电子束曝光邻近效应的校正118

3.7电子束曝光的计算机模拟121

3.8电子束曝光的极限分辨率125

3.8.1电子束曝光系统125

3.8.2二次电子散射效应125

3.8.3抗蚀剂工艺126

参考文献126

第4章 聚焦离子束加工技术131

4.1液态金属离子源132

4.2聚焦离子束系统135

4.3离子在固体材料中的散射137

4.4.1离子溅射140

4.4聚焦离子束加工原理140

4.4.2离子束辅助沉积143

4.5聚焦离子束加工技术的应用144

4.5.1审查与修改集成电路芯片144

4.5.2修复光刻掩模缺陷145

4.5.3制作透射电镜样品149

4.5.4多用途微切割工具150

4.6聚焦离子束曝光技术153

4.7聚焦离子束注入技术155

参考文献156

第5章 X射线曝光技术159

5.1 X射线曝光原理160

5.2 X射线曝光系统165

5.2.1 X射线源165

5.2.2 X射线对准式曝光机168

5.2.3 X射线曝光掩模169

5.2.4 X射线曝光抗蚀剂172

5.3超微细结构的X射线曝光技术172

5.4超深结构的X射线曝光技术（LIGA技术）174

5.4.1 X射线光源177

5.4.2 LIGA掩模177

5.4.3用于LIGA的厚胶及其工艺179

5.4.4影响LIGA图形精度的因素182

参考文献184

第6章 刻蚀技术187

6.1化学湿法腐蚀技术188

6.1.1硅的各向异性腐蚀189

6.1.2硅的各向同性腐蚀196

6.1.3二氧化硅的各向同性腐蚀198

6.2干法刻蚀之一：反应离子刻蚀199

6.3干法刻蚀之二：反应离子深刻蚀206

6.4干法刻蚀之三：离子溅射刻蚀211

6.5干法刻蚀之四：反应气体刻蚀213

6.6干法刻蚀之五：其他物理刻蚀技术214

6.6.1激光微加工技术214

6.6.2电火花微加工技术218

6.6.3喷粉微加工技术219

参考文献221

第7章 复制技术225

7.1纳米压印技术226

7.2透明模曝光技术231

7.3软印模技术233

7.4塑料微成型技术235

7.4.1热压成型237

7.4.2注塑成型238

7.4.3浇铸成型241

7.5激光三维微成型技术242

7.6其他图形复制技术245

7.6.1扫描探针点墨法246

7.6.2纳米球阵列掩模法247

7.6.3纳米阴影掩模法249

参考文献250

第8章 微纳米加工技术的应用253

8.1超大规模集成电路技术254

8.2纳米电子技术259

8.3光电子技术262

8.4高密度磁存储技术265

8.5微机电系统技术269

8.6生物芯片技术275

8.7纳米技术279

参考文献282

中英文名词对照索引287

结束语295

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