图书介绍
用硅烷法制取半导体硅PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 长沙玻璃厂，湖南省革命委员会生产指挥组科技情报服务站编 著
- 出版社： 长沙：湖南人民出版社
- ISBN：15109·70
- 出版时间：1971
- 标注页数：106页
- 文件大小：3MB
- 文件页数：114页
- 主题词：
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图书目录
目录1
一、概述1
（一）半导体硅的性能及用途1
（二）半导体硅的制备方法及比较3
二、硅烷的制备6
（一）硅烷的性质和用途6
（二）硅烷的制备方法12
（三）用卤铵盐在液氨中分解硅化镁制备硅烷的工艺27
（一）硅烷的提纯方法46
三、硅烷的提纯46
（二）采用以吸附法为主提纯硅烷的工艺60
四、硅烷的热分解71
（一）硅烷热分解的反应及条件71
（二）用钼丝或硅芯沉积生长多晶硅的工艺77
（三）直接在硅籽晶上沉积生长单晶硅的工艺85
五、硅烷法生产中的安全防护92
（一）中毒和烧伤93
（二）防爆98
（三）防火、防触电102
（四）受压容器的安全技术104