图书介绍
半导体表面钝化技术及其应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 管绍茂，王迅编著 著
- 出版社： 北京：国防工业出版社
- ISBN：15034·2232
- 出版时间：1981
- 标注页数：175页
- 文件大小：5MB
- 文件页数：180页
- 主题词：
PDF下载
点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用种子下载[BT下载速度快]温馨提示：（请使用BT下载软件FDM进行下载）软件下载地址页直链下载[便捷但速度慢] [在线试读本书] [在线获取解压码]
下载说明
半导体表面钝化技术及其应用PDF格式电子书版下载
下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！
（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）
注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具
图书目录
绪论1
第一章 钝化硅表面的结构和特性3
1-1 硅的清洁表面和真实表面3
1-2 硅-二氧化硅界面6
1-3 其它钝化介质的结构15
第二章 硅表面势及其对器件特性的影响20
2-1 表面的积累、耗尽和反型20
2-2 反型的判据24
2-3 表面对半导体器件特性的影响27
第三章 氮化硅钝化膜38
3-1 概述38
3-2 氮化硅膜的制备方法39
3-3 氮化硅膜的性质54
3-4 氮化硅和二氧化硅混合结构72
3-5 氮化硅膜的应用73
第四章 二氧化硅和磷硅玻璃钝化膜87
4-1 二氧化硅膜的制备和应用87
4-2 磷硅玻璃膜的制备方法94
4-3 磷硅玻璃膜的性质和应用99
4-4 磷铝硅玻璃钝化膜的制备和应用102
第五章 三氧化二铝钝化膜107
5-1 概述107
5-2 三氧化二铝膜的制备、性质和应用108
第六章 掺氯氧化钝化工艺122
6-1 掺氯氧化工艺122
6-2 掺氯氧化层的一些性质128
6-3 掺氯氧化的钝化效果130
7-1 半绝缘多晶硅膜的钝化作用136
第七章 半绝缘多晶硅钝化膜136
7-2 半绝缘多晶硅膜的制备、性质和应用138
第八章 金属氧化物和有机聚合物钝化膜149
8-1 金属氧化物钝化膜的制备、性质和应用149
8-2 有机聚合物钝化膜的应用153
第九章 测量钝化表面的实验方法157
9-1 各种实验方法的概况157
9-2 MOS电容-电压法的原理159
9-3 实验方法简介172