图书介绍
微米纳米器件测试技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 张文栋等编著 著
- 出版社： 北京：国防工业出版社
- ISBN：9787118078978
- 出版时间：2012
- 标注页数：259页
- 文件大小：51MB
- 文件页数：279页
- 主题词：纳米材料－微电子技术－电子器件－测试技术
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图书目录
第1章 微纳测试技术概述1
1.1微纳米技术1
1.1.1 MEMS技术及其发展1
1.1.2 NEMS技术及其发展2
1.2微纳测试技术的研究4
1.2.1微纳测试技术的重要意义4
1.2.2微纳测试技术的研究内容4
1.2.3微纳测试技术的研究现状与发展趋势6
第2章 微纳几何量测试技术8
2.1显微视觉测试技术8
2.1.1微纳平面几何参数测试9
2.1.2微纳结构的完整性检测与分析10
2.1.3微纳平面动态特性的测量11
2.2接触式三维形貌测试技术11
2.2.1扫描探针显微镜技术11
2.2.2近场扫描光学显微镜技术18
2.2.3扫描电子显微镜技术23
2.2.4透射电子显微镜技术28
2.3非接触式光学三维形貌测试技术32
2.3.1激光扫描显微测量技术33
2.3.2白光干涉形貌测试技术35
2.4微纳坐标测量技术58
2.4.1基本原理59
2.4.2微纳坐标测量仪器62
2.5薄膜厚度测试技术66
参考文献71
第3章 微纳动态测试技术73
3.1频闪动态视觉成像技术73
3.1.1频闪成像原理73
3.1.2微纳结构静态和动态特性测试设备75
3.1.3基于块匹配和相位相关的微纳平面运动测试技术77
3.1.4基于光流场的微纳平面运动测试技术79
3.2频闪显微干涉测试技术82
3.2.1频闪干涉视觉三维测量系统测试原理82
3.2.2系统光路84
3.2.3系统软件87
3.3显微激光多普勒测振技术87
3.3.1差动多普勒测振技术90
3.3.2激光扭振技术90
3.3.3纯扭振和纯弯曲振动的激光多普勒测量92
3.3.4激光多普勒颤振的测量94
3.4原子力显微镜测试技术95
3.4.1原子力显微镜的力学测试进展95
3.4.2原子力显微镜微纳米力学测试原理和方法96
3.4.3原子力显微镜微纳米力学测试系统及参考悬臂梁法的弹性系数标定101
3.4.4悬臂梁弹性系数测试的系统验证103
3.4.5原子力显微镜在纳米计量上的应用105
参考文献107
第4章 微纳力学量测试技术108
4.1微结构残余应力测试技术108
4.1.1残余应力概念109
4.1.2残余应力测量109
4.2微结构轴向拉伸力学测试技术117
4.2.1传统拉伸方法力学测试技术117
4.2.2转换拉伸方法力学测试技术122
4.2.3集成拉伸方法力学测试技术123
4.2.4单轴拉伸位移的测量124
4.3纳米压入接触力学测试技术125
4.3.1纳米压痕技术的基本原理125
4.3.2纳米压痕测试的基本原则133
4.3.3纳米压入技术的特点134
4.4弯曲法微纳力学测试技术135
4.4.1弯曲梁法的分类及其原理136
4.4.2基于弯曲测试技术的微／纳米梁力学特性的表征方法138
4.4.3弯曲法测试技术的优缺点141
4.5谐振法微纳力学测试技术141
4.5.1谐振频率法141
4.5.2共振频率法142
4.6拉曼光谱应力测试系统143
4.6.1拉曼散射现象143
4.6.2拉曼光谱仪应力测试装置144
4.6.3拉曼应力测试理论研究146
4.6.4拉曼光谱应力测试148
4.6.5软件系统的搭建155
4.6.6实验测试156
4.7键合强度测试系统157
4.7.1键合强度测试机理157
4.7.2基于裂纹传播扩散法的键合强度测试系统164
参考文献168
第5章MEMS在线测试技术170
5.1基于体硅加工工艺的在线测试技术170
5.1.1体硅加工技术170
5.1.2基于体硅工艺的定位平台172
5.2基于表面微机械加工工艺的在线测试技术178
5.2.1表面牺牲层工艺179
5.2.2基于表面加工工艺的多晶硅薄膜热导率测试结构181
5.3基于Polymer材料加工的在线测试技术187
5.3.1高分子（Polymer）材料概述187
5.3.2新型光敏聚酰亚胺微型阀189
参考文献194
第6章 典型微纳器件测试技术195
6.1 MEMS压力传感器测试技术195
6.1.1 MEMS压力传感器简介195
6.1.2 MEMS压力传感器的原理及结构195
6.1.3 MEMS压力传感器的电气性能测试200
6.1.4 MEMS压力传感器的静态测试204
6.1.5 MEMS压力传感器的动态测试208
6.1.6 MEMS压力传感器影响量测试209
6.1.7 MEMS压力传感器的可靠性测试210
6.2 MEMS加速度传感器测试技术213
6.2.1 MEMS加速度传感器简介213
6.2.2中低量程MEMS加速度传感器的测试214
6.2.3高量程加速度传感器的性能参数221
6.3 RF MEMS测试技术232
6.4红外与光学微纳器件测试技术240
6.4.1红外与光学成像系统240
6.4.2红外光学成像测试243
6.5 NEMS器件测试技术246
6.5.1纳机电加速度传感器测试246
6.5.2纳机电声传感器测试252
参考文献257