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第1章 概论1

1.1真空装置1

1.2真空装置的特点1

1.3真空装置的分类2

1.4真空装置的组成4

1.4.1真空容器（真空室）4

1.4.2真空泵5

1.4.3抽气机组5

1.4.4真空测量5

1.5真空装置典型实例6

第2章 真空装置容器14

2.1概述14

2.2真空室的门15

2.3真空室的冷却16

2.4真空室的观察窗17

2.4.1观察窗基本类型18

2.4.2观察窗设计要点20

2.4.3真空设备常用观察窗标准21

2.5真空室的电极引入22

2.5.1电极引入部件密封设计要求22

2.5.2电极的结构形式23

2.5.3部标陶瓷金属封接电极（SJ 1775—81）29

2.5.4国产陶瓷-金属封接电极30

2.6真空室强度计算31

2.6.1真空室强度计算一般知识31

2.6.2真空室壳体设计34

2.6.3圆筒体加强圈的设计50

2.6.4封头强度计算55

2.6.5开孔加强设计63

2.6.6法兰及管道设计70

第3章 真空装置抽气系统77

3.1真空装置抽气系统基本参数77

3.1.1极限压力77

3.1.2工作压力78

3.1.3有效抽速79

3.1.4抽气时间81

3.2真空系统设计86

3.2.1选泵及配泵86

3.2.2真空系统设计计算实例89

3.3低真空抽气机组设计94

3.3.1低真空机组的特点94

3.3.2除尘器94

3.3.3低真空机组典型实例96

3.4高真空系统及抽气机组98

3.4.1高真空系统特点98

3.4.2储气罐预抽泵设计99

3.4.3高真空机组主要形式100

3.5超高真空系统及抽气机组105

3.5.1超高真空系统特点105

3.5.2超高真空系统设计要点105

3.5.3超高真空抽气机组107

3.5.4兰州物理研究所对超高真空系统的研究112

3.6极高真空系统113

3.6.1概述113

3.6.2极高真空系统设备研究114

3.6.3极高真空系统运转规范116

3.6.4试验结果与讨论117

第4章 真空泵119

4.1概述119

4.1.1真空泵的分类119

4.1.2真空泵的技术术语、用途和使用范围120

4.1.3真空泵的型号及规格表示法122

4.2往复式真空泵124

4.2.1概述124

4.2.2工作原理124

4.2.3结构特点125

4.2.4主要性能参数126

4.2.5国家规定的往复泵型式与基本参数（摘自JB/T 7675—95）131

4.2.6往复泵的使用与维护131

4.3液环式真空泵132

4.3.1概述132

4.3.2工作原理133

4.3.3液环泵的基本类型与结构134

4.3.4液环泵的基本参数135

4.3.5液环泵型式与基本参数（摘自GB/T 7255—94）137

4.3.6液环泵使用与维护137

4.4油封式旋转机械真空泵138

4.4.1概述138

4.4.2工作原理139

4.4.3结构特点141

4.4.4性能参数145

4.4.5型号与基本参数（摘自JB/T 6533—97、 JB/T 1246—97）149

4.4.6泵的运行和维护150

4.5罗茨式真空泵153

4.5.1概述153

4.5.2工作原理154

4.5.3结构特点155

4.5.4罗茨泵的主要性能参数157

4.5.5 ZJ型罗茨泵的基本参数（摘自ZB/T 7674—95）160

4.5.6罗茨泵的使用与维护161

4.6涡轮分子泵162

4.6.1概述162

4.6.2涡轮分子泵的工作原理163

4.6.3涡轮分子泵基本结构组成及特点166

4.6.4涡轮分子泵工作特性167

4.6.5涡轮分子泵基本参数（摘自JB/T 9125—1999）168

4.6.6涡轮分子泵的使用169

4.7油扩散喷射真空泵170

4.7.1概述170

4.7.2结构原理171

4.7.3油扩散喷射真空泵的抽气特性172

4.7.4油扩散喷射真空泵的设计计算173

4.7.5国产Z型系列及WZ系列油扩散喷射真空泵主要技术性能、特性曲线及外形尺寸178

4.7.6油扩散喷射泵的运转183

4.7.7油扩散喷射泵的使用与维护186

4.8油扩散泵187

4.8.1概述187

4.8.2油扩散泵的工作原理188

4.8.3油扩散泵的结构形式和特点189

4.8.4油扩散泵的性能参数193

4.8.5用油扩散泵获得超高真空的方法197

4.8.6油扩散泵的使用与维护198

4.9低温泵200

4.9.1概述200

4.9.2低温泵的抽气原理和分类200

4.9.3低温泵的性能参数202

4.9.4现代低温泵的结构及设计208

4.9.5低温泵的选型方法215

4.10溅射离子泵216

4.10.1概述216

4.10.2溅射离子泵的基本结构和工作原理217

4.10.3溅射离子泵的改进219

4.10.4溅射离子泵的工作特性221

4.10.5溅射离子泵的使用维护223

4.11钛泵224

4.11.1概述224

4.11.2钛升华泵工作原理225

4.11.3钛升华器的结构226

4.11.4电离升华泵228

4.11.5钛泵的使用和维护230

第5章 真空阀门231

5.1概述231

5.2真空阀门的设计与计算要点236

5.2.1对真空阀门的基本要求236

5.2.2真空阀门的设计步骤237

5.2.3真空阀门的密封237

5.2.4真空阀门压紧装置及设计计算242

5.2.5阀盖传动机构244

5.3真空装置常用的真空阀门249

5.3.1真空插板阀249

5.3.2高真空挡板阀254

5.3.3高真空蝶阀261

5.3.4电磁真空阀270

5.3.5真空隔膜阀279

5.3.6真空微调阀286

5.3.7真空放气阀288

5.3.8玻璃真空活塞293

5.3.9典型各类真空阀门结构形式299

第6章 真空装置自动控制308

6.1概述308

6.1.1真空装置控制308

6.1.2真空自动控制系统的分类308

6.1.3自动控制系统的性能指标309

6.1.4自动控制系统的分析方法310

6.2自动控制元件及装置311

6.2.1真空继电器311

6.2.2真空计312

6.3真空装置自动控制系统315

6.3.1概述315

6.3.2继电器控制系统315

6.3.3压力控制仪控制系统316

6.3.4可编程控制器控制系统318

6.3.5计算机控制系统321

第7章 真空装置中的常用制造工艺325

7.1真空装置的清洗处理325

7.1.1概述325

7.1.2真空装置元件的清洗方法326

7.1.3清洗的基本程序333

7.1.4非金属材料的清洗334

7.2真空装置材料的除气335

7.2.1材料除气的基本方法335

7.2.2玻璃及陶瓷材料的除气339

7.2.3金属材料的除气341

7.2.4电真空器件的除气343

7.2.5超高真空装置的烘烤除气344

7.2.6烘烤除气装置346

7.3真空装置常用的焊接技术346

7.3.1真空装置对焊接工艺的要求346

7.3.2真空焊接的分类346

7.3.3氩弧焊347

7.3.4电子束焊353

7.3.5真空钎焊355

7.3.6真空扩散焊接362

7.4真空装置金属——陶瓷封接技术364

7.4.1陶瓷-金属封接材料364

7.4.2陶瓷-金属封接形式365

7.4.3陶瓷金属化封接365

7.4.4真空直接钎焊封接366

7.4.5金属-陶瓷钎焊应用实例368

参考文献369