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激光先进制造技术
  • 郑启光编著 著
  • 出版社: 武汉:华中科技大学出版社
  • ISBN:7560928374
  • 出版时间:2002
  • 标注页数:285页
  • 文件大小:19MB
  • 文件页数:297页
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图书目录

第一章 激光先进制造技术基础1

1.1 激光束特性1

目录1

1.1.1 激光的相干性2

1.1.2 激光束的形状与发散3

1.1.3 激光束的亮度8

1.1.4 激光束的聚焦特性8

1.1.5 激光窗口和透镜材料15

1.1.6 反射镜17

1.2 激光与固体材料的相互作用19

1.2.1 表面效应19

1.1.8 激光束质量因子M2的概念[8]19

1.1.7 激光束的光束质量19

1.2.2 内部效应21

1.3 材料的吸收和反射特性23

1.3.1 材料的吸收特性23

1.3.2 材料的反射率[2]31

1.4 激光加工的热源模型[9][10][11]34

1.4.1 热物理常数34

1.4.2 几种典型激光加工的热源模型36

1.4.3 激光打孔中热源模型的解40

1.4.4 激光焊接44

1.4.5 激光切割的热量传递51

1.4.6 激光表面热处理中的热量传递53

参考文献57

2.1.1 激光产生的基本原理59

2.1 固体激光加工系统59

第二章 激光器系统59

2.1.2 固体激光器的基本结构60

2.1.3 用于激光热加工的固体激光器66

2.1.4 固体激光加工机的光束传输、聚焦和观察系统70

2.1.5 固体激光加工机的电源系统73

2.2 气体激光器75

2.2.1 高功率CO2激光器系统75

2.2.2 激光加工中的CO2激光器与YAG激光器的比较86

2.3 准分子激光器87

2.4 其它用于激光加工的激光器87

参考文献88

3.1 激光打孔与切割90

3.1.1 激光打孔90

第三章 激光加工技术90

3.1.2 激光切割96

3.1.3 激光打标107

3.2 激光焊接110

3.2.1 脉冲激光光斑焊接111

3.2.2 激光缝焊120

3.2.3 高功率激光深穿透焊接126

3.3 激光表面改性技术148

3.3.1 激光表面相变硬化(表面淬火)148

3.3.2 激光表面合金化与熔覆161

3.3.3 激光表面非晶化与微晶180

3.3.4 激光冲击强化184

3.4 激光清洗技术185

3.4.1 激光清洗技术基础知识186

参考文献188

3.4.2 激光清洗技术的优点188

第四章 激光快速成型技术191

4.1 激光快速成型工艺191

4.1.1 分层制造快速成型技术192

4.1.2 激光立体光刻(SL)制模技术194

4.1.3 选择性激光烧结(SLS)制模技术200

4.1.4 其它新的激光快速成型工艺及材料204

4.2 激光快速成型系统软件与设备205

4.2.1 激光快速成型系统软件[7]205

4.2.2 用于快速成型制模的激光器206

4.2.3 激光快速成型设备[8]207

4.3 激光快速成型制作零件(或模具)的典型实例209

参考文献210

5.1.1 激光等离子体法制膜的简单机制212

第五章 激光制备薄膜技术212

5.1 激光制膜原理与过程212

5.1.2 激光制膜过程213

5.1.3 激光辐射与靶材相互作用213

5.1.4 激光等离子体与基片相互作用217

5.2 影响激光制膜的几种因素222

5.2.1 激光波长与运转方式222

5.2.2 激光能量密度223

5.2.3 激光脉冲频率224

5.2.4 辅助气压224

5.2.5 基片温度224

5.3 激光制膜工艺方法与典型实例225

5.3.1 激光物理气相沉积薄膜(LPVD)226

5.3.2 激光化学气相沉积薄膜(LCVD)228

5.4 激光选区定域制膜232

5.4.1 激光定域制膜机制及物理模型233

5.4.2 激光定域制膜工艺与系统236

参考文献239

第六章 激光在微电子技术中的应用242

6.1 脉冲激光加工在微电子技术中的应用242

6.2 半导体的激光退火245

6.2.1 半导体的脉冲激光退火245

6.2.2 连续激光退火250

6.3 激光微调252

6.3.1 激光微调电阻252

6.3.2 激光微调电容256

6.4 激光修补(修复)集成电路257

6.5 激光光刻259

参考文献260

第七章 激光加工成套设备系统262

7.1 激光加工机262

7.2 激光加工成套设备264

7.3 激光加工生产线中的检测与监控技术270

参考文献273

第八章 纳米技术274

8.1 纳米技术的发展和应用274

8.1.1 纳米概念的提出274

8.1.2 纳米技术的应用前景275

8.2 激光制备纳米材料与纳米器件276

8.2.1 激光制备纳米粉末276

8.2.2 激光制备纳米薄膜281

参考文献284

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